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Investigation on the etching characteristics of Si{100} in low concentrations of TMAH solutions for MEMS-based sensors |
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期刊:2025 IEEE Applied Sensing Conference (APSCON) 作者:Priyanka Dewangan; Vishal Sahu; Robbi Vivek Vardhan; Mahesh Peddigari; Prem Pal 出版日期:2025-01-20 |
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(2025-6-4)