ULSI制造中硅片化学机械抛光的运动机理

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标题	ULSI制造中硅片化学机械抛光的运动机理
网址	http://doi.wanfangdata.com.cn/10.3969/j.issn.1674-4926.2005....
DOI	10.3969/j.issn.1674-4926.2005.03.035 doi
其它	期刊：半导体学报作者：苏建修出版日期：2005-01-01
求助人	苏孟在 2026-08-27 14:45:48 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America (PNAS)

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