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Molybdenum Atomic Layer Deposition Using MoF6 and Si2H6 as the Reactants |
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期刊:Chemistry of Materials 作者:D. Seghete; G.B. Rayner; A.S. Cavanagh; V.R. Anderson; S.M. George 出版日期:2011-03-11 |
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(2025-6-4)