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Design Guidelines of Thermally Stable Hafnia Ferroelectrics for the Fabrication of 3D Memory Devices
网址
http://dx.doi.org/10.1109/iedm45625.2022.10019458
DOI
10.1109/iedm45625.2022.10019458 doi
其它 期刊：2022 International Electron Devices Meeting (IEDM)
作者：Giuk Kim; Hunbeom Shin; Taehyong Eom; Minhyun Jung; Taeho Kim; et al
出版日期：2022-12-03
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