Recrystallization behavior, oxygen vacancy and photoluminescence performance of sputter-deposited Ga2O3 films via high-vacuum in situ annealing

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标题	Recrystallization behavior, oxygen vacancy and photoluminescence performance of sputter-deposited Ga2O3 films via high-vacuum in situ annealing
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2021.10.126
DOI	10.1016/j.ceramint.2021.10.126 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Haiyan Wang; Chunmei Tang; Weijia Yang; Jingjing Zhao; Lihua Liu; et al 出版日期：2021-10-22
求助人	wuwu 在 2026-08-03 16:21:12 发布自福建，悬赏 10 积分
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