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  Improved AlScN/GaN heterostructures grown by metal-organic chemical vapor deposition 改进的金属有机化学气相沉积AlScN/GaN异质结构
相关领域
金属有机气相外延
异质结
化学气相沉积
材料科学
光电子学
外延
高电子迁移率晶体管
跨导
图层（电子）
晶体管
纳米技术
物理
电压
量子力学
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Christian Manz; Stefano Leone; Lutz Kirste; Jana Ligl; Kathrin Frei; et al 出版日期：2021-01-07 |
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