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标题
Ab initio photodynamics of model EUV photoresists
EUV光致抗蚀剂模型的从头计算光动力学
相关领域
化学 从头算 极紫外光刻 计算化学 纳米技术 有机化学 材料科学
网址
https://doi.org/10.1016/j.chemphys.2018.06.009
DOI
10.1016/j.chemphys.2018.06.009 doi
其它 期刊：Chemical Physics
作者：Jan Chalabala; Ondřej Dvořák; Petr Slavı́ček
出版日期：2018-06-15
求助人
肖遥 在 2025-06-20 14:34:49 发布自四川，悬赏 10 积分
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