The Impact of Charging on Low-Energy Electron Beam Lithography

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标题	The Impact of Charging on Low-Energy Electron Beam Lithography 充电对低能电子束光刻的影响相关领域电子束光刻平版印刷术极紫外光刻材料科学 X射线光刻下一代光刻电压抵抗无光罩微影加速电压光电子学阴极射线失真（音乐）光学电子纳米技术 CMOS芯片物理电气工程工程类放大器量子力学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1017/s1431927604040711
DOI	10.1017/s1431927604040711 doi
其它	期刊：Microscopy and Microanalysis 作者：Lau Kien Mun; Dominique Drouin; Éric Lavallée; J. Beauvais 出版日期：2004-12-01
求助人	Mayuri 在 2025-04-18 20:05:25 发布自吉林，悬赏 10 积分
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