Defect-induced density control in amorphous silicon oxide films on 200 mm silicon wafer

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标题	Defect-induced density control in amorphous silicon oxide films on 200 mm silicon wafer
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6463/adc60e
DOI	10.1088/1361-6463/adc60e doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：Sanjay Nayak; Nastaran Behravan; R. Bisht; M. Moridi; Marco Deluca; et al 出版日期：2025-03-27
求助人	ei 在 2026-10-19 15:45:58 发布自江苏，悬赏 10 积分
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