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标题
[高分] Study on discharge characteristics of magnetized capacitively coupled Ar/CH 4 plasma
网址
http://dx.doi.org/10.1051/epjap/2026016
DOI
10.1051/epjap/2026016 doi
其它 期刊：The European Physical Journal Applied Physics
作者：Guiqin Yin; Leilei Zhang; Qianghua Yuan
出版日期：2026-01-01
求助人
莫愁 在 2026-10-19 14:16:24 发布自辽宁，悬赏 50 积分
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