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标题
In situ analysis of nucleation reactions during TiCl4/H2O atomic layer deposition on SiO2 and H-terminated Si surfaces treated with a silane small molecule inhibitor
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002493
DOI
10.1116/6.0002493 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Jan‐Willem J. Clerix; Golnaz Dianat; Annelies Delabie; Gregory N. Parsons
出版日期：2023-03-30
求助人
面朝大海 在 2026-09-24 11:16:39 发布自北京，悬赏 10 积分
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