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  A Novel Actuator-Internal Micro/Nano Positioning Stage With an Arch-Shape Bridge-Type Amplifier 相关领域
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期刊：IEEE transactions on industrial electronics (1982. Print) 作者：Fu-Jun Wang; Zhichen Huo; Cun-Man Liang; Beichao Shi; Yan-Ling Tian; et al 出版日期：2019-12-01 |
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