Ion implantation in β-Ga2O3: Physics and technology

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标题	Ion implantation in β-Ga2O3: Physics and technology 相关领域离子注入工程物理离子核物理学物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0000928
DOI	10.1116/6.0000928 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Alena Nikolskaya; E.V. Okulich; Д. С. Королев; Anton Stepanov; Д. Е. Николичев; et al 出版日期：2021-03-26
求助人	lby183191 在 2026-05-27 19:00:27 发布自福建，悬赏 10 积分
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