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标题
Atomic layer deposition of high-k and metal thin films for high-performance DRAM capacitors: A brief review
相关领域
德拉姆 电容器 动态随机存取存储器 原子层沉积 材料科学 晶体管 光电子学 化学气相沉积 纳米技术 薄膜 金属绝缘体金属 计算机科学 电气工程 电子工程 计算机硬件 工程类 电压 半导体存储器
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DOI
10.1016/j.cap.2024.05.011 doi
求助人
乌妮卡布兹 在 2026-03-15 13:28:28 发布自安徽,悬赏 10 积分
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