发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
待确认
  • 文献求助详情
标题
Study of silicon surface micro‐roughness generated by SF6 remote plasma etching
SF6远程等离子体刻蚀产生硅表面微粗糙度的研究
相关领域
蚀刻（微加工） 表面粗糙度 材料科学 表面光洁度 反应离子刻蚀 纳米尺度 硅 涟漪 微尺度化学 等离子体刻蚀 紫外线 各向同性腐蚀 分析化学（期刊） 原子力显微镜 光电子学 复合材料 纳米技术 化学 图层（电子） 色谱法 物理 电压 数学教育 量子力学 数学
网址
https://doi.org/10.1002/sia.7198
DOI
10.1002/sia.7198 doi
其它 期刊：Surface and Interface Analysis
作者：S. Saloum; M.A. Zrir; B. Alkhaled; S. A. Shaker; Yamen Balloul; et al
出版日期：2023-01-28
求助人
11234 在 2025-08-29 22:04:16 发布，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Low-temperature reactive ion etching and microwave plasma etching of silicon
  2. Deep plasma etching of glass with a silicon shadow mask
  3. Selective etching of SiO2 relative to Si by plasma reactive sputter etching
  4. Residue‐Free Reactive Ion Etching of Silicon Carbide in Fluorinated Plasmas: II .
  5. Silicon etching mechanism and anisotropy in CF4+O2 plasma
  6. Dry etching for pattern transfer
  7. Wet Chemical and Plasma Etching of Photosensitive Glass
  8. Damage induced by CHF3+C2F6 plasma etching on Si-implanted GaAs(100)
  9. Microfabrication Technique by Gas Plasma Etching Method
  10. Technology of reactive ion etching
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 2小时前

    不安青牛 不安青牛 Lv12 上传了文件

    待审核 Surface Interface Analysis - 2023 - Saloum - Study of silicon surface micro‐roughness generated by SF6 remote plasma.pdf (2.39 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 4小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    22:04:21 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    22:04:17 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    22:04:16 已向机器人发送请求

  • 4小时前

    11234 11234 Lv2 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
4秒前
13秒前
24秒前
35秒前
45秒前
小胡萝白发布了新的文献求助10
47秒前
皮皮完成签到 ，获得积分10
47秒前
55秒前
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
完美世界的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
善学以致用的应助被小胡萝白采纳，获得10
1分钟前
1分钟前
2分钟前
苹果牌牛仔裤完成签到，获得积分10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
norberta发布了新的文献求助10
2分钟前
科研通AI6的应助被27小天使采纳，获得30
2分钟前
2分钟前
红毛兔完成签到 ，获得积分10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
oleskarabach发布了新的文献求助10
2分钟前
wangermazi完成签到，获得积分10
2分钟前
小胡萝白发布了新的文献求助10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
2分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
2分钟前
水牛完成签到，获得积分10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
27小天使发布了新的文献求助30
2分钟前
科研通AI5的应助被zch19970203采纳，获得10
2分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各位详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Voyage au bout de la révolution: de Pékin à Sochaux 700
血液中补体及巨噬细胞对大肠杆菌噬菌体PNJ1809-09活性的影响 500
Methodology for the Human Sciences 500
First Farmers: The Origins of Agricultural Societies, 2nd Edition 500
Simulation of High-NA EUV Lithography 400
Metals, Minerals, and Society 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4316557
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3834993
关于积分的说明 11994834
捐赠科研通 3475276
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1906194
邀请新用户注册赠送积分活动 952303
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 853804
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通