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Scaling of microwave slot antenna (SLAN): a concept for efficient plasma generation 微波缝隙天线(SLAN)的定标:高效等离子体产生的概念
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期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:D. Korzec; F. Werner; R. Winter; J. Engemann 出版日期:1996-05-01 |
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