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Atomic layer deposition of SnSex thin films using Sn(N(CH3)2)4 and Se(Si(CH3)3)2 with NH3 co-injection 相关领域
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期刊:Dalton Transactions 作者:Jeong Woo Jeon; Chanyoung Yoo; Woohyun Kim; Wonho Choi; Byongwoo Park; et al 出版日期:2021-12-06 |
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