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标题
Exploring Machine Learning for Semiconductor Process Optimization: A Systematic Review
探索半导体工艺优化的机器学习:系统综述
相关领域
过程(计算) 半导体 计算机科学 工艺优化 人工智能 制造工程 工艺工程 材料科学 工程类 光电子学 化学工程 操作系统
网址
DOI
10.1109/tai.2024.3429479 doi
其它 期刊:IEEE transactions on artificial intelligence
作者:Ying-Lin Chen; Sara Sacchi; Bappaditya Dey; Víctor Blanco; Sandip Halder; et al
出版日期:2024-01-01
求助人
墨川 在 2025-10-12 11:10:43 发布自捷克,悬赏 10 积分
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