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标题
(Invited) Low Energy Methods for Highly Selective Etching and Surface Treatment of Advanced Nanodevices
（受邀）用于先进纳米器件的高选择性蚀刻和表面处理的低能量方法
相关领域
蚀刻（微加工） 材料科学 纳米技术 曲面（拓扑） 工程物理 工程类 几何学 数学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1149/ma2024-02201781mtgabs
DOI
10.1149/ma2024-02201781mtgabs doi
其它 期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者：Mark Kawaguchi
出版日期：2024-11-22
求助人
高半青 在 2025-07-17 16:01:33 发布自江苏，悬赏 10 积分
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