| 标题 |
  ALD and PEALD deposition of HfO2 and its effects on the nature of oxygen vacancies HfO2的ALD和PEALD沉积及其对氧空位性质的影响
相关领域
原子层沉积
X射线光电子能谱
材料科学
电介质
高-κ电介质
等离子体
分析化学（期刊）
氧气
光电子学
电容
薄膜
纳米技术
化学
核磁共振
电极
物理
有机化学
量子力学
色谱法
物理化学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Materials Science And Engineering: B 作者：Marcelo A. Martínez-Puente; Paul Horley; F. S. Aguirre‐Tostado; Javier Lopez-Medina; H.A. Borbón-Núñez; et al 出版日期：2022-08-31 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
蜉蝣
不想干活
馆长
兔兔兔
CR7
鸣笛
执着谷兰
生动梦松
Dean
阔达紫青
核桃
ZiZi
个性的紫菜
linkman
子车茗
不倦
GingerF
LaTeXer
带头大哥
H华ua
皖公网安备34019202002308
