| 标题 |
 Precise measurement of thin-film thickness in 3D-NAND device with CD-SEM |
| 网址 | |
| DOI |
10.1117/1.jmm.17.2.024002
doi
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| 其它 |
期刊：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 作者：Takeyoshi Ohashi; Atsuko Yamaguchi; Kazuhisa Hasumi; Masami Ikota; Gian Lorusso; et al 出版日期：2018-06-15 |
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