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标题
Experimental and theoretical study of tetrazolium derivatives as levelers for copper superfilling in microvias
相关领域
福尔马赞 铜代谢 化学 材料科学 生物化学 冶金
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.162456 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Xiangfu Wei; Shengchang Tang; J. Ye; Xuejun Liu; Peng Dai; et al
出版日期:2025-01-18
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