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Microwave enhanced atomic layer deposition (MW-ALD): Incorporating a microwave antenna into an ALD system and performing in situ direct microwave exposure during ALD
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0004633
DOI
10.1116/6.0004633 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Benjamin Kupp; Jessica Haglund-Peterson; Shane M. W. Witsell; Mohammad Kamarehi; John F. Conley
出版日期：2025-09-01
求助人
对镜贴花 在 2026-01-17 13:58:05 发布自上海，悬赏 10 积分
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