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标题
Femtosecond laser burst mode processing for modified layer fabrication in 4H-SiC wafers
相关领域
材料科学 光电子学 飞秒 制作 薄脆饼 激光器 图层（电子） 突发模式（计算） 模式（计算机接口） 光学 信号处理 脉冲激光器
网址
https://doi.org/10.1117/12.3074400
DOI
10.1117/12.3074400 doi
其它 期刊：
作者：Chun-Wei Wang; Wenjun Wang; Aifei Pan; Mei Xuesong; Chun-Wei Wang; et al
出版日期：2025-11-19
求助人
wxhzsdvv 在 2025-11-25 14:24:33 发布自山东，悬赏 20 积分
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