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Investigation of cleaning mechanisms for particle, metal ion, and organic contaminations in amorphous carbon post-CMP cleaning
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.164803
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.164803 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Ziyang Wang; Pengzhan Liu; Juyong Lee; Hyeonjeong Lee; Hyunho Kim; et al
出版日期：2025-10-04
https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S016943322502519X
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殷勤的帽子 在 2026-01-07 21:24:11 发布自广东，悬赏 10 积分
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