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 Investigation of transport processes in a commercial hot wall CVD reactor with multi-substrates for high-quality pyrocarbon deposition 用于高质量热解炭沉积的商用多衬底热壁CVD反应器中传输过程的研究
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期刊：Surface & Coatings Technology 作者：V. M. Shinde; Balamurugan Deivendran; Harish Kumar; N. Eswara Prasad 出版日期：2021-11-01 |
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