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 Experiment and numerical simulation of melt convection and oxygen distribution in 400-mm Czochralski silicon crystal growth 400mm直拉硅晶体生长中熔体对流和氧分布的实验与数值模拟
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期刊：Rare Metals 作者：Ran Teng; Yang Li; Bin Cui; Qing Chang; Qinghua Xiao; et al 出版日期：2017-01-07 |
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