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Formation of Complexes of Phosphorus and Boron Impurity Atoms in Silicon
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作者
М. К. Бахадырханов,
Z. T. Kenzhaev,
S. Koveshnikov,
A. A. Usmonov,
Г. Х. Мавлонов
出处
期刊：
Inorganic Materials
[Pleiades Publishing]
日期：2022-01-01
卷期号：58 (1): 1-6
被引量：3
标识
DOI：10.1134/s0020168522010034
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