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Formation of Complexes of Phosphorus and Boron Impurity Atoms in Silicon

硼杂质硅磷无机化学材料科学化学

作者

М. К. Бахадырханов,Z. T. Kenzhaev,S. Koveshnikov,A. A. Usmonov,Г. Х. Мавлонов

出处

期刊：Inorganic Materials [Pleiades Publishing]
日期：2022-01-01 卷期号：58 (1): 1-6 被引量：3

标识

DOI：10.1134/s0020168522010034

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