Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structure and topography of thick sputtered coatings - 科研通

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标题	Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structure and topography of thick sputtered coatings
网址	https://doi.org/10.1116/1.1312732
DOI	10.1116/1.1312732 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：John A. Thornton 出版日期：1974-07-01
求助人	bro.wang 在 2026-10-15 14:42:41 发布自江苏，悬赏 10 积分
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