Enhanced Lithography Performance with Imino/Imido Benzenesulfonate Photoacid Generator‐Bound Polymer Resists

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标题	Enhanced Lithography Performance with Imino/Imido Benzenesulfonate Photoacid Generator‐Bound Polymer Resists
网址	https://doi.org/10.1002/smll.202412297
DOI	10.1002/smll.202412297 doi
其它	期刊：Small 作者：Yue Liu; Dong Wang; Haihua Wang; Huan Chen; Qianqian Wang; et al 出版日期：2025-03-05
求助人	知栀在 2026-10-27 21:35:18 发布自河北，悬赏 10 积分
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