| 标题 |
Effect of changing the electrode gap on the spatial and electrical properties of O2/CF4 plasmas |
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者:Kristen L. Steffens; Mark A. Sobolewski 出版日期:2003-01-10 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人或该文件上传人下载。 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)