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标题
Comparison of electronic stopping cross sections for channeled implantation of Al ions between the <0001> and <11-23> directions in 4H-SiC
4H-SiC中铝离子沟道注入<0001>和<11-23>方向电子停止截面的比较
相关领域
离子 原子物理学 离子注入 Atom(片上系统) 物理 材料科学 化学 量子力学 计算机科学 嵌入式系统
网址
DOI
10.35848/1347-4065/ad1cfd doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:Kazuhiro Mochizuki; Tomoaki Nishimura; Tomoyoshi Mishima
出版日期:2024-01-01
求助人
超超 在 2025-08-19 09:54:01 发布自浙江,悬赏 10 积分
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