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 Application of high-spatial-resolution distributed fiber-optic sensing technique for neutral gas temperature mapping in inductively coupled Ar plasmas 高空间分辨率分布式光纤传感技术在电感耦合氩等离子体中性气体温度测绘中的应用
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Luo Qian; Tuo Lv; Pengyu Wang; Da-Peng Zhou; Fei Gao; et al 出版日期：2025-06-13 |
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