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 Formation of GaN layer on SiN surface using low-energy Ga ion implantation 利用低能量Ca离子注入在Si表面形成Gap层
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Junichi Yanagisawa; Masaya Toda; Τakeshi Kitamura; Hiroyoshi Matsumoto; Yoichi Akasaka 出版日期：2005-11-01 |
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