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 Effect and Regulation Mechanism of Post-deposition Annealing on the Ferroelectric Properties of AlScN Thin Films 沉积后退火对AlScN薄膜铁电性能的影响及调控机制
相关领域
材料科学
铁电性
退火（玻璃）
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Mingrui Liu; Hang Zang; Yuping Jia; Ke Jiang; Jianwei Ben; et al 出版日期：2024-03-25 |
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