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标题
Revealing the Origins of Thermally Induced Anomaly in 18 nm Pitch Ruthenium Nanointerconnects on 300 mm Wafers
网址
https://doi.org/10.1021/acsami.6c03315
DOI
10.1021/acsami.6c03315 doi
其它 期刊：ACS Appl Mater Interfaces
作者：Shah AA, Delie G, Khomyakov PA, Wellendorff J, Richard O, Park S, Shrivastava M, Ceric H, Zahedmanesh H
出版日期：2026-03-31
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一个亿 在 2026-08-01 14:48:12 发布自美国，悬赏 10 积分
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