发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Formation of a Nanoscale SiO2Capping Layer on Photoresist Lines with an Ar/SiCl4/O2Inductively Coupled Plasma: A Modeling Investigation
网址
http://dx.doi.org/10.1002/ppap.201300062
DOI
10.1002/ppap.201300062 doi
其它 期刊：Plasma Processes and Polymers
作者：Stefan Tinck; Efrain Altamirano-Sánchez; Peter De Schepper; Annemie Bogaerts
出版日期：2013-11-18
求助人
Bean 在 2026-08-28 10:46:21 发布自四川，悬赏 10 积分
下载
上个求助
下个求助
提交工单
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 2小时前

    张欢馨 张欢馨 Lv12 上传了文件

    待审核 5WKBJO-1787885237373.pdf (747.15 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 2小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    10:46:23 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    10:46:21 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    10:46:21 已向机器人发送请求

  • 2小时前

    Bean Bean Lv51 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
良先生完成签到，获得积分20
刚刚
刚刚
uiugi发布了新的文献求助20
刚刚
Ava的应助被万晓娜采纳，获得30
刚刚
发顶刊的氧化钴完成签到，获得积分10
2秒前
良先生发布了新的文献求助10
3秒前
核桃发布了新的文献求助30
4秒前
4秒前
乐观的颦完成签到，获得积分20
6秒前
zoepuka完成签到 ，获得积分10
7秒前
8秒前
9秒前
Akim的应助被西扬采纳，获得20
10秒前
半糖完成签到，获得积分10
11秒前
Demons完成签到，获得积分10
12秒前
childe完成签到，获得积分10
13秒前
可恶的鼠发布了新的文献求助10
13秒前
小灰灰完成签到 ，获得积分10
13秒前
欣喜的雪青完成签到 ，获得积分10
13秒前
对你如初发布了新的文献求助10
14秒前
wzt发布了新的文献求助10
15秒前
科研通AI6.4的应助被Qing采纳，获得10
15秒前
丘比特的应助被pishuang采纳，获得10
15秒前
111发布了新的文献求助10
16秒前
孤独静枫完成签到，获得积分10
16秒前
勤奋的自行车完成签到，获得积分20
16秒前
兰高锋完成签到，获得积分10
19秒前
19秒前
阿泽完成签到，获得积分10
20秒前
20秒前
20秒前
orange909完成签到，获得积分10
22秒前
开心灰狼发布了新的文献求助20
22秒前
22秒前
再见一日完成签到，获得积分10
27秒前
04d发布了新的文献求助10
27秒前
28秒前
wzt完成签到，获得积分10
28秒前
兮颜完成签到，获得积分10
29秒前
Zllu发布了新的文献求助10
30秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
An Introduction to Foreign Language Learning and Teaching 750
China Pluperfect I: Epistemology of Past and Outside in Chinese Art 520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
What is the Future of Psychotherapy in Digital Age? Technology, AI Bots, and Psychotherapy after Covid 444
Synthesis of P-Chiral Phosphine Ligands and Their Applications in Asymmetric Catalysis 400
Management and the Arts 310
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7629518
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9203974
关于积分的说明 19736300
捐赠科研通 7199027
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3274277
关于科研通互助平台的介绍 2436423
邀请新用户注册赠送积分活动 2270424
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通