Adjustments of refractive index and stress of SiO2 films prepared by IBS technology

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标题	Adjustments of refractive index and stress of SiO2 films prepared by IBS technology
网址	http://dx.doi.org/10.3788/ope.20132109.2238
DOI	10.3788/ope.20132109.2238 doi
其它	期刊：Optics and Precision Engineering 作者：刘华松 LIU Hua-song; 王利栓 WANG Li-shuan; 姜玉刚 JIANG Yu-gang; 季一勤 JI Yi-qin 出版日期：2013-01-01
求助人	hlsonlye 在 2026-07-01 13:54:21 发布自福建，悬赏 10 积分
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