New Flash Lamp Annealing Tool Equipped with an Ambient Control Feature Suitable for High-k Gate Stack Anneals

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标题	New Flash Lamp Annealing Tool Equipped with an Ambient Control Feature Suitable for High-k Gate Stack Anneals 配备环境控制功能的新型闪光灯退火工具，适用于高k栅极堆叠退火相关领域退火（玻璃）材料科学光电子学闪光灯毫秒堆栈（抽象数据类型）形成气体电子工程计算机科学冶金工程类天文物理程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1109/iit.2016.7882897
DOI	10.1109/iit.2016.7882897 doi
其它	期刊：作者：Hikaru Kawarazaki; Atsushi Ueda; M. Furukawa; Takayuki Aoyama; Shinya Kato; et al 出版日期：2016-09-01
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