| 标题 |
 Impact of Tetrakis(ethylmethylamino)-based precursor and oxygen source selection on atomic layer deposition of ferroelectric HfxZr1-xO2 thin films |
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Applied Surface Science 作者：Jin-Hyun Kim; Siun Song; Dushyant M. Narayan; Dan N. Le; Thi Thu Huong Chu; et al 出版日期：2024-12-23 |
| 求助人 | |
| 下载 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
学术文献互助
GingerF
Kao
Nole
My_magnum_opus
随风沙ZYX
DW
Criminology34
然宝
cocohan
null
无极微光
殷勤的紫槐
帅气碧萱
anugraphics
heekkll
HanHan
XX
初景
皖公网安备34019202002308
