| 标题 |
[高分]
 Front-Side Microfabricated Tiny-Size Thermopile-Based Gas Flow Sensor With Integrated Pressure–Temperature Sensing on a Non-SOI (111) Silicon Wafer 相关领域
材料科学
表面微加工
薄脆饼
光电子学
硅
温度系数
灵敏度（控制系统）
体微机械加工
压力传感器
制作
基质（水族馆）
响应时间
温度测量
硅带隙温度传感器
微电子机械系统
炸薯条
电子工程
流量传感器
压力测量
大气温度范围
微加工
阳极连接
动态范围
质量流
晶圆级封装
噪音（视频）
流量（数学）
热电效应
工作温度
热式质量流量计
扩展阻力剖面
集成电路
体积流量
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| 其它 |
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Jie Li; Ke Sun; Fang Song; Haifei Bao; Jiachou Wang; et al 出版日期：2026-01-01 |
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