Experimental investigations of anisotropic etching of Si in tetramethyl ammonium hydroxide

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标题	Experimental investigations of anisotropic etching of Si in tetramethyl ammonium hydroxide 相关领域蚀刻（微加工）氢氧化铵各向异性薄脆饼微电子机械系统硅制作 GSM演进的增强数据速率纳米技术物理复合材料光电子学材料科学化学工程光学计算机科学替代医学病理医学电信工程类图层（电子）
网址	http://dx.doi.org/10.1139/p96-837
DOI	10.1139/p96-837 doi
求助人	qindanyan 在 2026-03-27 11:03:09 发布自湖北，悬赏 10 积分
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