EUV refractive index measurements with improved accuracy and their impact in component modeling - 科研通

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标题	EUV refractive index measurements with improved accuracy and their impact in component modeling
网址	https://doi.org/10.1117/12.2660664
DOI	10.1117/12.2660664 doi
其它	期刊：Optical and EUV Nanolithography XXXVI 作者：Franck Delmotte; Regina Soufli; Catherine Burcklen; Irene Papagiannouli; Farhad Salmassi; et al 出版日期：2023
求助人	Amara 在 2026-05-09 17:10:18 发布自吉林，悬赏 20 积分
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