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标题
Interaction Forces Between a Glass Surface and Ceria-Modified PMMA-Based Abrasives for CMP Measured by Colloidal Probe AFM
网址
https://doi.org/10.1149/1.2834456
DOI
10.1149/1.2834456 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：Silvia Armini; Ruslan Burtovyy; Mansour Moinpour; Igor Luzinov; Joke De Messemaeker; et al
出版日期：2008
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小鱼 在 2026-06-06 20:17:21 发布自四川，悬赏 10 积分
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