Evolution of surface morphology of Si-trench sidewalls during hydrogen annealing

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标题	Evolution of surface morphology of Si-trench sidewalls during hydrogen annealing
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943320...
DOI	10.1016/j.apsusc.2004.06.056 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：R. Hiruta; H. Kuribayashi; S. Shimizu; K. Sudoh; H. Iwasaki 出版日期：2004-08-05
求助人	GQ 在 2026-03-22 16:56:52 发布自上海，悬赏 10 积分
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