| 标题 |
[高分]
 Manufacturing Silicon-Nanowire Based Piezoresistive Force Sensors with Top-Down Stepwise Controllable Etching Process 相关领域
压阻效应
材料科学
制作
执行机构
微电子机械系统
蚀刻（微加工）
光电子学
过程（计算）
灵敏度（控制系统）
线性
纳米技术
硅
纳米线
平版印刷术
硅纳米线
工作（物理）
光刻
紫外线
纳米传感器
电容感应
微加工
电子工程
机械工程
制造工艺
电容
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| 其它 |
期刊： 作者：Geer Teng; Junbo Guo; Ziming Yang; Xin Li; Xiaoying Li; et al 出版日期：2026-01-25 |
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