| 标题 |
  Foundry-compatible thin film lithium niobate modulator with RF electrodes buried inside the silicon oxide layer of the SOI wafer 相关领域
铌酸锂
材料科学
绝缘体上的硅
硅光子学
硅
制作
薄脆饼
光电子学
光子学
基质（水族馆）
混合硅激光器
图层（电子）
晶片键合
光学
纳米技术
医学
海洋学
替代医学
物理
病理
地质学
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| DOI |
10.1364/oe.396335
doi
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| 其它 |
期刊：Optics Express 作者：Reza Safian; Min Teng; Leimeng Zhuang; Swapnajit Chakravarty 出版日期：2020-07-29 |
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