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Calculation Method of Target Erosion in the Planar DC Magnetron Sputtering
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网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10531806/10531771/105319...
DOI
10.1109/cstic61820.2024.10531931 doi
其它 期刊：China Semiconductor Technology International Conference
作者：Ji-Hua Ding; Yanchao Dong; W. Xia; Xia-Bing Bai; Yujie Yang
出版日期：2024-03-17
求助人
暗弱 在 2026-10-14 09:28:34 发布自上海，悬赏 10 积分
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