Secondary Grain Growth in Heavily Doped Polysilicon During Rapid Thermal Annealing

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标题	Secondary Grain Growth in Heavily Doped Polysilicon During Rapid Thermal Annealing
网址	http://dx.doi.org/10.1557/proc-230-201
DOI	10.1557/proc-230-201 doi
其它	期刊：MRS Proceedings 作者：S. Batra; K. Park; M. Lobo; S. Banerjee 出版日期：1991-01-01
求助人	背后妙旋在 2026-10-29 17:10:21 发布自江苏，悬赏 10 积分
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