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标题
High performance BAW resonators with improved AlN thin films quality based on BaF2 buffer layer
基于BaF2缓冲层提高AlN薄膜质量的高性能BAW谐振器
相关领域
缓冲器（光纤） 图层（电子） 材料科学 谐振器 光电子学 质量（理念） 薄膜 宽禁带半导体 计算机科学 复合材料 纳米技术 物理 电信 量子力学
网址
https://doi.org/10.1063/5.0245758
DOI
10.1063/5.0245758 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Guowei Zhi; Kaibin Xu; Zhipeng Chen; Tianyou Luo; Xinyan Yi; et al
出版日期：2025-02-03
求助人
晓希凝安 在 2025-12-03 20:41:46 发布自河北，悬赏 10 积分
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